在半导体产业竞争日趋激烈的当下,光刻机作为芯片制造的“皇冠设备”,其产业链的发展水平直接决定着国家芯片制造的核心竞争力。随着国产半导体产业加速突围,光刻机产业链上的关键企业逐步崭露头角。以下从整机生态、核心系统到材料工艺,梳理20家在光刻机产业链中占据核心地位的企业:
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